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2025-01-08
2024-12-05
2025-02-14
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| 類型Ⅰ 內碳 | 類型Ⅱ 內金屬 | 類型Ⅲ 外熱 | |
| 型式 | VHF-Ⅰ© | VHF-Ⅰ(M) | VHF-E | 
| 加熱溫度域 | 超高溫、高溫(1)、高溫(2)700~2300℃ | 超高溫、高溫(1)1000~2300℃ | 高溫(1)、高溫(2)700~1600℃ | 
| 硬質碳 | 金屬加熱棒(鎢 鉬 炭化珪素) | 金屬加熱棒 | |
| 容器材質 | 不鏽鋼:SUS304 (水冷) | 不鏽鋼:SUS304(水冷) | 爐芯管材:鋁管(~1600℃) 石英管(~1200℃) | 
| 分 類 | 加熱溫度 | 製禦センサ | ヒータ材質 (加熱方式) | 
| 超高溫 | 1400~2300℃ | 放射溫度計 | 碳加熱棒 金屬加熱棒(W、Mo)*1 | 
| 高溫1 | 1000~1500℃ | 白金—ロジューム熱電対 (S型、R型、B型) | 碳加熱棒 金屬加熱棒(Mo、SiC)*1 | 
| 高溫2 | 700~1100℃ | クロメルーアルメル熱電対 (K型) | カンタル線ヒータ | 
| 壓力(Pa) | 真空 | 
| 大氣~3.0 | 油旋片泵 | 
| 大氣~10 | 幹式泵 | 
| 1000~0.4 | 羅茨泵+油旋片泵 | 
| 3~1×10 -3 | 擴散泵+油旋片泵 | 
| 200~2×10 -5 | 渦輪分子泵+幹泵 渦輪分子泵+油旋片泵 | 
| 40~10 -7 | 冷凍泵+抽水機 冷凍泵+油旋片泵 |